気密封止

出典: くみこみックス

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2009年3月13日 (金) 07:49の版

気密封止【Hermetic Sealing】

 高信頼性を必要とするパッケージに適用する封止法.気密の程度は,ガス(たとえばHe)の漏れが3年間に1cc以下である.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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