歩留まり

出典: くみこみックス

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2009年3月13日 (金) 03:00の版

歩留まり【Yield Rate】

 製造工程における良品率をいう.LSIウェハ製造工程では,完成ウェハ枚数/投入ウェハ枚数を工程歩留まり,あるいはウェハ歩留まりと呼ぶ.また最終完成ウェハのLSIテスタ(ATE)による各チップの電気的特性・機能確認テストにおける良品率をチップ歩留まりと呼ぶ.一般に,LSI業界でいう歩留まりは,このチップ歩留まりを指すことが多い.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.



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