低誘電率膜

出典: くみこみックス

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2009年3月13日 (金) 07:50の版

低誘電率膜【Low Dielectric Constant Insulator】

 LSI多層配線間を電気的に分離する絶縁膜が,低誘電率の材料で作られているもの.LSIの高速化にともなって,配線抵抗や配線容量の低減が要求されている.銅配線が配線抵抗を低減するのに対して,低誘電率の層間絶縁膜は配線容量の低減に寄与する.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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