ポリシリコン

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最新版

ポリシリコン【Polycrystalline Silicon】

　LSIデバイスのゲート電極や配線の材料として用いる．シリコンが単結晶であるのに対して，ポリシリコンは多結晶である．電極や配線などには高濃度に不純物をドープしたポリシリコンを用い，配線シート抵抗値は10～30Ω/□である．

【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．

関連項目

• シリコン・ゲート
• シート抵抗