ペリクル

出典: くみこみックス

2009年3月13日 (金) 07:50; Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録) による版

ペリクル【Pellicle】

 フォトマスク表面へのごみ付着防止の目的で,マスクの表面から数ミリ離して置いた,ごく薄い保護膜.ペリクル表面に付着したごみでも,ある程度の大きさまでは,ウェハ上に結像しない.マスク洗浄回数の減少やスループットの向上など,マスク寿命の延長に役立つ.材質は一般にニトロ・セルロース薄膜が使われている.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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