ペリクル

出典: くみこみックス

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最新版 (2009年3月13日 (金) 08:08) (ソースを表示)
 
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【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
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<!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 -->
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最新版

ペリクル【Pellicle】

 フォトマスク表面へのごみ付着防止の目的で,マスクの表面から数ミリ離して置いた,ごく薄い保護膜.ペリクル表面に付着したごみでも,ある程度の大きさまでは,ウェハ上に結像しない.マスク洗浄回数の減少やスループットの向上など,マスク寿命の延長に役立つ.材質は一般にニトロ・セルロース薄膜が使われている.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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