パッシベーション

出典: くみこみックス

2009年3月13日 (金) 07:40; Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録) による版

パッシベーション【Passivation】

 チップ表面を水分,可動イオン(固定されずに,自由に動きまわれるイオン)などの汚染から保護して,デバイスの信頼性を高めるための保護膜形成工程.材質は窒化膜,リン・ガラス(PSG)が一般的である.パッシベーションは本来,不活性化(安定化)の意味.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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