サリサイド

出典: くみこみックス

2009年3月13日 (金) 03:00; Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録) による版
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サリサイド【Salicide】

 MOSFETのポリシリコン・ゲート,ドレイン,ソースの表面に形成したシリサイド構造.サリサイドを利用すると,ポリシリコン・ゲートの配線抵抗やドレイン,ソースの寄生抵抗を低減して配線遅延を小さくしたり,MOSFETの相互コンダクタンスの劣化を防止できる.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.



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