エピタキシャル成長

出典: くみこみックス

2009年3月13日 (金) 03:00; Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録) による版
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エピタキシャル成長【Epitaxial Growth】

 シリコン基板表面に,基板の結晶軸に沿って同じ単結晶構造を形成(成長)させる工程.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.



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