エピタキシャル成長
出典: くみこみックス
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【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | ||
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2009年3月13日 (金) 07:40の版
エピタキシャル成長【Epitaxial Growth】
シリコン基板表面に，基板の結晶軸に沿って同じ単結晶構造を形成（成長）させる工程．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
