ウエット・エッチング

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最新版 (2009年3月13日 (金) 07:49) (ソースを表示)
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ウエット・エッチング【Wet Etching】

 化学薬品による反応を利用したエッチング.材料間のエッチング速度比(選択比)を大きくとれる,一括処理能力が大きいなどの特徴がある.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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