ウエット・エッチング

出典: くみこみックス

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【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
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<!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 -->
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最新版

ウエット・エッチング【Wet Etching】

 化学薬品による反応を利用したエッチング.材料間のエッチング速度比(選択比)を大きくとれる,一括処理能力が大きいなどの特徴がある.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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