ウエット・エッチング

出典: くみこみックス

版間での差分
M (1 版)

2009年3月13日 (金) 07:38の版

ウエット・エッチング【Wet Etching】

 化学薬品による反応を利用したエッチング.材料間のエッチング速度比(選択比)を大きくとれる,一括処理能力が大きいなどの特徴がある.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.



関連項目

表示