エレクトロマイグレーション
出典: くみこみックス
エレクトロマイグレーション【Electro-migration】
LSI金属薄膜配線の信頼性に関わる問題で，過大電流によって配線上の金属電子が移動する現象．故障症状としては，LSI金属薄膜配線の断線・短絡となって表れる．
金属配線全域にわたって質量移動が均一であれば問題は起きない．質量流束の大きな領域から小さな領域に向かって電子が流れている場合，境界部分にウイスカ（粒界）などを形成して短絡を生じることがある．また，その逆の場合，境界部分の質量が減少して断線の原因となる．市販の消費電力解析ツールのなかには，エレクトロマイグレーション解析の機能を備えているものがある．
図 エレクトロマイグレーション
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
