光近接効果補正

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2009年3月13日 (金) 07:40; Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録) による版

光近接効果補正【Optical Proximity Correction】



【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

関連項目

  • OPC(同義語)
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