スパッタ

出典: くみこみックス

2009年3月13日 (金) 07:50; Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録) による版
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スパッタ【Sputtering】

 プラズマ中の正イオン(Ar+など)を加速し,膜形成すべき物質からなるターゲット材料に衝突させ,ターゲットから飛び出した物質をシリコン・ウェハなどの半導体基板に蒸着させて薄膜を形成する工程.PVD(物理的気相成長)の一つ.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

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