サリサイド【Salicide】 MOSFETのポリシリコン・ゲート，ドレイン，ソースの表面に形成したシリサイド構造．サリサイドを利用すると，ポリシリコン・ゲートの配線抵抗やドレイン，ソースの寄生抵抗を低減して配線遅延を小さくしたり，MOSFETの相互コンダクタンスの劣化を防止できる． 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
