歩留まり【Yield Rate】 製造工程における良品率をいう．LSIウェハ製造工程では，完成ウェハ枚数/投入ウェハ枚数を工程歩留まり，あるいはウェハ歩留まりと呼ぶ．また最終完成ウェハのLSIテスタ（ATE）による各チップの電気的特性・機能確認テストにおける良品率をチップ歩留まりと呼ぶ．一般に，LSI業界でいう歩留まりは，このチップ歩留まりを指すことが多い． 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
