エピタキシャル成長【Epitaxial Growth】 シリコン基板表面に，基板の結晶軸に沿って同じ単結晶構造を形成（成長）させる工程． 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
