出典: くみこみックス
シリコン・ウェハ 【Silicon Wafer】
円柱状のケイ素の単結晶を１mm程度に薄く切り，フォトマスクで光学的にn/pチャネルのトランジスタ素子と配線をエッチングすることにより，複数のダイ（半導体チップ）を形成した板のことをいいます（写真2）．
【出典】（株）アルティマ 技術統括部 一同，下馬場 朋禄，山際 伸一，横溝 憲治；システム開発者のためのFPGA用語集，Design Wave Magazine 2008年12月号 別冊付録，CQ出版社，2008年12月．
関連項目
