TEG
出典: くみこみックス
TEG（Test Element Group）
プロセス・データ（不純物濃度，加工寸法精度，歩留まり推定など），およびSPICEなどのデバイス・パラメータを取得するためにLSIウェハ上に作成するテスト素子グループ．たとえばCMOS特性評価では，チャネル長とチャネル幅を可変にしたN，Pチャネル型MOSFETを使って，しきい値電圧，相互コンダクタンス依存性の関係などを測定する．また1段インバータ，多段インバータ列，リング発振回路などについて，電流，電圧，遅延特性などのCMOS回路基本特性を確認する．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
