出典: くみこみックス
(
差分)
←前の版 | 最新版を表示 (差分) | 次の版→ (差分)
シリサイド【Silicide】
シリコンと金属元素による金属間化合物．MOSFETのゲート，配線，バリヤ・メタルなどに用いる．W-シリサイド，Mo-シリサイドなどの高融点金属シリサイドはポリシリコンに似た性質をもつので，製造プロセスの変更が少なくてすむ．そのため，低抵抗のゲート材料や配線材料として使用されている．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
関連項目
