配線容量
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2009年3月16日 (月) 01:32の版
配線容量【Wiring Capacitance】
LSIの素子間配線にともなう容量．配線間の容量，および配線と基板の間の容量の合計になる．これまでは配線長をもとに配線容量を見積もることが多かった．しかし，プロセス技術の微細化にともなって，配線幅や配線間隔に対する厚みの割合が増加し，配線側面の3次元的影響を無視できなくなってきた．そのため，精度よく配線容量を求めることがむずかしくなっている．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
