パッシベーション

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パッシベーション【Passivation】

　チップ表面を水分，可動イオン（固定されずに，自由に動きまわれるイオン）などの汚染から保護して，デバイスの信頼性を高めるための保護膜形成工程．材質は窒化膜，リン・ガラス（PSG）が一般的である．パッシベーションは本来，不活性化（安定化）の意味．

【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．