レチクル【Reticule】 本来の意味は複製マスクを作るためのフォトマスク原版である．ステッパ用マスクなども，電子ビーム露光装置で描画された原版のみしか使わないのでレチクルという．したがって現在では，ほぼフォトマスクと同義語である． 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
