ダマシン配線
出典: くみこみックス
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【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | ||
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2009年3月13日 (金) 07:40の版
ダマシン配線【Damascene Wiring】
絶縁膜表面に溝（トレンチ）をほり，その溝に銅などの金属を電解メッキなどによって埋め込んで，溝以外の金属はCMP（Chemical Mechanical Polish）で除去し，溝部のみに配線を形成する技術．
銅は微細なエッチングが困難なため，ダマシン配線が主流となる．ダマシン配線には銅やアルミ合金を配線材料に用いる．配線間をつなぐビア・ホールはタングステンなどの金属を用いるシングル・ダマシン配線と，配線とビア・ホールを同種の金属で同時に形成するデュアル・ダマシン配線がある．Damasceneはシリア共和国の首都Damascusにある象嵌技術の一種であり，それに由来する．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
