シリサイド
出典: くみこみックス
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【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | ||
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2009年3月13日 (金) 07:40の版
シリサイド【Silicide】
シリコンと金属元素による金属間化合物．MOSFETのゲート，配線，バリヤ・メタルなどに用いる．W-シリサイド，Mo-シリサイドなどの高融点金属シリサイドはポリシリコンに似た性質をもつので，製造プロセスの変更が少なくてすむ．そのため，低抵抗のゲート材料や配線材料として使用されている．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
