サリサイド
出典: くみこみックス
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【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | ||
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2009年3月13日 (金) 07:40の版
サリサイド【Salicide】
MOSFETのポリシリコン・ゲート，ドレイン，ソースの表面に形成したシリサイド構造．サリサイドを利用すると，ポリシリコン・ゲートの配線抵抗やドレイン，ソースの寄生抵抗を低減して配線遅延を小さくしたり，MOSFETの相互コンダクタンスの劣化を防止できる．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
