エピタキシャル成長

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最新版

エピタキシャル成長【Epitaxial Growth】

　シリコン基板表面に，基板の結晶軸に沿って同じ単結晶構造を形成（成長）させる工程．

【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．

関連項目

• エピタキシャル・ウェハ