MEMS（Micro Electro-mechanical System） 可動部分を有するマイクロ電気機械システム・デバイスの総称．マイクロマシンとも呼ぶ．半導体プロセスと同様の技術によって製造される．加速度センサ，圧力センサ，静電マイクロモータ，流体制御用マイクロバルブ，ミラー型ディスプレイ・デバイスなどがある． 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
