プロセス技術

出典: くみこみックス

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2009年1月29日 (木) 01:38の版

プロセス技術（プロセスぎじゅつ） 【Process Technology】

　LSI製造における微細加工技術の総称です．かつて技術ノード（設計ルール，最小加工寸法）はメタル（金属）配線の最小ハーフ・ピッチという定義でしたが，現在は製品によりさまざまな定義に基づいて使用されているようです．Altera社の場合，例えば「90nm プロセス技術」といった場合の「90nm」は，ポリゲートの最小ハーフ・ピッチと定義しています．

【出典】（株）アルティマ 技術統括部 一同，下馬場 朋禄，山際 伸一，横溝 憲治；システム開発者のためのFPGA用語集，Design Wave Magazine 2008年12月号 別冊付録，CQ出版社，2008年12月．