シリコン・ウェハ
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2009年1月27日 (火) 07:50の版
シリコン・ウェハ 【Silicon Wafer】
円柱状のケイ素の単結晶を1mm程度に薄く切り,フォトマスクで光学的にn/pチャネルのトランジスタ素子と配線をエッチングすることにより,複数のダイ(半導体チップ)を形成した板のことをいいます(写真2).
【出典】(株)アルティマ 技術統括部 一同,下馬場 朋禄,山際 伸一,横溝 憲治;システム開発者のためのFPGA用語集,Design Wave Magazine 2008年12月号 別冊付録,CQ出版社,2008年12月.