窒化膜
出典: くみこみックス
版間での差分
M (1 版) |
|||
| 6 行 | 6 行 | ||
<br> | <br> | ||
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | ||
| - | + | <!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 --> | |
<br> | <br> | ||
<br> | <br> | ||
2009年3月13日 (金) 07:40の版
窒化膜【Silicon Nitride】
選択酸化（LOCOS構造）のマスキング材料として，また保護膜（パッシベーション膜）として使用するSi3N4膜．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
