MEMS
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MEMS(Micro Electro-mechanical System)
可動部分を有するマイクロ電気機械システム・デバイスの総称.マイクロマシンとも呼ぶ.半導体プロセスと同様の技術によって製造される.加速度センサ,圧力センサ,静電マイクロモータ,流体制御用マイクロバルブ,ミラー型ディスプレイ・デバイスなどがある.
【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.