TEOS

出典: くみこみックス

2009年3月13日 (金) 07:39の版 (ソースを表示) Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録) M (1 版) ←前の差分		最新版 (2009年3月13日 (金) 07:50) (ソースを表示) Kumikomiadmin (会話 | 投稿記録) M (1 版)
（間の 1 版分が非表示です）
6 行		6 行
	<br>		<br>
	【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．		【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
-		+	<!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 -->
	<br>		<br>
	<br>		<br>

---

最新版

TEOS（Tetraethyl Orthosilicate）

　TEOSは室温でアルコール状の液体であるが，CVD（Chemical Vapor Deposition）法によって酸化膜を形成する．薄膜でもピン・ホールが少なく，膜品質がよいので，2層ポリシリコン間の絶縁膜などに使用される．

【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．