CVD

出典: くみこみックス

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	【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．		【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
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最新版

CVD（Chemical Vapor Deposition）

　シリコン・ウェハなどの半導体基板上への薄膜形成工程で，気体を熱分解したり，化学反応させて，デポジション（堆積）する方法．

【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．