窒化膜

出典: くみこみックス

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	【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．		【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
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最新版

窒化膜【Silicon Nitride】

　選択酸化（LOCOS構造）のマスキング材料として，また保護膜（パッシベーション膜）として使用するSi3N4膜．

【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．

関連項目

• LOCOS
• パッシベーション