スパッタ

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	【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．		【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
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最新版

スパッタ【Sputtering】

　プラズマ中の正イオン（Ar+など）を加速し，膜形成すべき物質からなるターゲット材料に衝突させ，ターゲットから飛び出した物質をシリコン・ウェハなどの半導体基板に蒸着させて薄膜を形成する工程．PVD（物理的気相成長）の一つ．

【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．

関連項目

• 蒸着