拡散プロセス

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	【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．		【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
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拡散プロセス【Diffusion Process】

　半導体基板上のMOSFETなどのトランジスタには，Pチャネル型とNチャネル型がある．それぞれのトランジスタ構造（ドレイン，ソース，ゲート，基板）には，たとえばボロン（B），リン（P），砒素（As）などの不純物を注入し，拡散（ドーピング），熱処理（アニーリング）が行われている．これらの処理によって均一化する工程を拡散プロセスと呼ぶ．従来は不純物ガスを注入（添加）した後で行う熱拡散方式が多かったが，現在はイオン注入による不純物注入が主流である．

【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．

関連項目

• イオン注入