エピタキシャル成長
出典: くみこみックス
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最新版
エピタキシャル成長【Epitaxial Growth】
シリコン基板表面に,基板の結晶軸に沿って同じ単結晶構造を形成(成長)させる工程.
【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.