ウエット・エッチング
出典: くみこみックス
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【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | ||
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最新版
ウエット・エッチング【Wet Etching】
化学薬品による反応を利用したエッチング．材料間のエッチング速度比（選択比）を大きくとれる，一括処理能力が大きいなどの特徴がある．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
