超音波ボンディング

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最新版

超音波ボンディング【Ultrasonic Bonding】

　ワイヤとして主にアルミ線を用い，超音波エネルギを加えてボンディングする方式．

【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．