窒化膜

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窒化膜【Silicon Nitride】

　選択酸化（LOCOS構造）のマスキング材料として，また保護膜（パッシベーション膜）として使用するSi3N4膜．

【出典】西久保靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．

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