気密封止

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気密封止【Hermetic Sealing】

　高信頼性を必要とするパッケージに適用する封止法．気密の程度は，ガス（たとえばHe）の漏れが3年間に1cc以下である．

【出典】西久保靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．

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