配線抵抗
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配線抵抗【Wiring Resistance】
LSIの素子間を接続する金属配線の抵抗．微細化にともなって配線抵抗が大きくなり，配線容量とともに信号遅延を引き起こす原因となっている．
最近のLSIでは，回路素子の遅延よりも配線遅延のほうが大きくなっている．配線材料としては主にアルミが使われている．拡散やポリシリコンなどが使われている部分もある．大規模なLSIの場合，配線の引き回しが非常に長くなっており，アルミ配線よりも抵抗値の小さい銅配線が採用され始めている．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
