ペリクル
出典: くみこみックス
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【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月． | ||
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2009年3月13日 (金) 07:40の版
ペリクル【Pellicle】
フォトマスク表面へのごみ付着防止の目的で，マスクの表面から数ミリ離して置いた，ごく薄い保護膜．ペリクル表面に付着したごみでも，ある程度の大きさまでは，ウェハ上に結像しない．マスク洗浄回数の減少やスループットの向上など，マスク寿命の延長に役立つ．材質は一般にニトロ・セルロース薄膜が使われている．
【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
