光近接効果補正
出典: くみこみックス
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2009年3月13日 (金) 07:50の版
光近接効果補正【Optical Proximity Correction】
【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
関連項目
- OPC(同義語)
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光近接効果補正【Optical Proximity Correction】
【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.