サリサイド

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【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
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<!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 -->
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最新版

サリサイド【Salicide】

 MOSFETのポリシリコン・ゲート,ドレイン,ソースの表面に形成したシリサイド構造.サリサイドを利用すると,ポリシリコン・ゲートの配線抵抗やドレイン,ソースの寄生抵抗を低減して配線遅延を小さくしたり,MOSFETの相互コンダクタンスの劣化を防止できる.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

関連項目

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