エピタキシャル成長

出典: くみこみックス

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【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.
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<!-- 【著作権者】西久保 靖彦氏 -->
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最新版

エピタキシャル成長【Epitaxial Growth】

 シリコン基板表面に,基板の結晶軸に沿って同じ単結晶構造を形成(成長)させる工程.

【出典】西久保 靖彦;基本システムLSI用語辞典,CQ出版社,2000年5月.

関連項目

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