ウエット・エッチング【Wet Etching】 化学薬品による反応を利用したエッチング．材料間のエッチング速度比（選択比）を大きくとれる，一括処理能力が大きいなどの特徴がある． 【出典】西久保 靖彦；基本システムLSI用語辞典，CQ出版社，2000年5月．
